离子减薄仪适用性广泛，对金属、非金属、半导体、矿物、骨骼和牙齿等几乎所有固体材料都可以用离子减薄技术来制备透射薄膜样品。 离子减薄仪中的稀薄气体氩气，在高压电场作用真空环境下，氩离子穿过盘状阴极中心孔时，受到加速与聚焦后产生高能粒子束轰击样品表面，高能离子与样品表面发生弹性碰撞，样品表面原子能量增大高于该原子的逸出功时，便飞离样品，这样就使样品表面不断失去原子，达到减薄的效果。
 

　　离子减薄仪的规范操作：
 

　　一.开机程序
 

　　1.装换样品：样品室放气，取下顶盖，将预减薄的样品装入样品架后，封顶盖，关严放气阀。
 

　　2.启动机械泵，慢旋开V4阀，开真空计电源。
 

　　3.预抽真空达到100Pa时，打开V5阀，并开V1阀，关闭V4阀。
 

　　4.通冷却循环水，开分子泵，略迟开启动开关。
 

　　5.样品室真空抽至2×10-3Pa时，调样品转动刻度盘至适当位置，启动样品转动开关。
 

　　6.启动高压轰击开关，将高压调至4~5KV。
 

　　7.缓慢旋开氩气微调阀，使之达到正常工作状态，即高压4~5kv，回路电流≤0.8mA，开始减薄。
 

　　二.关机程序
 

　　1.关氩气，退下高压，关高压轰击开关。关样品转动。
 

　　2.关闭分子泵停止开关，关闭真空计电源。
 

　　3.关闭V2阀，关V5阀，关V1阀。
 

　　4.停机械泵，关电源开关，关闭冷却水。